تشيمشونلوحة تلميع رقائق الألوميناصُنعت طاولة الدوران من ألومينا عالية النقاء بنسبة 99.7-99.9%. يتميز سيراميك الألومينا عالي النقاء بصلابة فائقة ومقاومة ممتازة للتآكل، مما يجعله مثاليًا لتلميع الرقائق، كما يحافظ على شكل سطحه الجيد لفترة طويلة. يتم تشكيله بواسطة PIBM. يُعد هذا المنتج عنصرًا أساسيًا في صناعة أشباه الموصلات نظرًا لاستقراره الحراري والأبعادي الفريد ومقاومته العالية لظروف التشغيل القاسية لمعدات معالجة الرقائق الدقيقة.
تُعرف عملية التسوية الكيميائية الميكانيكية (CMP)، أو التلميع الكيميائي الميكانيكي، بأنها تقنية تُستخدم في عملية تصنيع أشباه الموصلات. وتعتمد هذه التقنية على التآكل الكيميائي والقوى الميكانيكية لتسوية رقائق السيليكون أو مواد الركائز الأخرى أثناء عملية التصنيع.
ينقسم جهاز التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) بشكل أساسي إلى قسمين: قسم التلميع وقسم التنظيف. يتكون قسم التلميع من أربعة أجزاء، هي: ثلاث طاولات تلميع دوارة ووحدة تحميل وتفريغ الرقاقات. أما قسم التنظيف، فيتولى مسؤولية تنظيف وتجفيف الرقاقة لضمان جفافها التام قبل وبعد التلميع. وتلعب سيراميكات الألومينا دورًا هامًا في جهاز التلميع بأكمله.
تُستخدم سيراميكات الألومينا عادةً في تحضير أقراص تلميع الرقائق، والتي تتطلب نقاءً عالياً، ومتانة كيميائية عالية، وتحكمًا جيدًا في شكل السطح وخشونته.
قرص الطحن الخزفي من Chemshun، المصنوع من أكسيد الألومنيوم بنسبة 99.7%، يتميز بجودة تصنيعه العالية، مما يجعله مناسبًا للطحن الدقيق لمختلف المواد، وخاصةً المواد الهشة مثل الرقائق والسيراميك والزجاج. يتوفر قرص الطحن الخزفي لدينا بأحجام مختلفة لتناسب مختلف نماذج الطحن والتلميع.
تاريخ النشر: 30 مايو 2025