ما هي صفيحة تلميع رقائق السيراميك المصنوعة من الألومينا عالية النقاء؟

مع التطور السريع لصناعة أشباه الموصلات، ازداد حجم هذه الصناعة بشكل ملحوظ، وتطورت معدات تصنيع أشباه الموصلات باستمرار نحو الدقة والتعقيد. ونظرًا لما تتمتع به المواد الخزفية من مزايا كالصلابة العالية، ومعامل المرونة العالي، ومقاومة التآكل العالية، والعزل العالي، ومقاومة التآكل، والتمدد المنخفض، يمكن استخدامها في تصنيع أجزاء من آلات تلميع السيليكون، ومعدات المعالجة الحرارية بالترسيب/الأكسدة/الانتشار، وآلات الطباعة الحجرية، ومعدات الترسيب، ومعدات حفر أشباه الموصلات، وآلات زرع الأيونات، وغيرها من المعدات. لذا، فإن البحث والتطوير وإنتاج الأجزاء الخزفية الدقيقة يؤثر بشكل مباشر على تطور صناعة أشباه الموصلات، وتزداد المتطلبات التقنية لتصنيعها باستمرار.

ألومينا عالية النقاء، 99.7%-99.9% ألومينا.
تتميز رقائق السيليكون شبه الموصلة بقوة ميكانيكية عالية، ومقاومة عالية للتآكل، وعزل كهربائي ممتاز، وثبات كيميائي عالٍ، ومقاومة جيدة للحرارة والتآكل. يُعد استخدام أقراص الطحن الخزفية حاليًا الطريقة الأفضل والأكثر تطورًا لطحن رقائق السيليكون شبه الموصلة. تُستخدم عملية الطحن ثنائية الجوانب لطحن رقائق السيليكون المقطوعة، ويتم تحسين جودة الرقائق المطحونة من خلال تحسين عملية الطحن (مادة القرص، سائل الطحن، ضغط الطحن، وسرعة الطحن، إلخ). على وجه الخصوص، يُسهم استخدام الألواح الخزفية بدلًا من ألواح الحديد الزهر في تجنب الخدوش أو التلوث الناتج عن الطحن على السطح الرئيسي للرقاقة، والحد من دخول أيونات المعادن، وتقليل عمليات المعالجة اللاحقة للسيليكون، وتقصير وقت المعالجة اللاحقة (التآكل)، وتحسين كفاءة الإنتاج، وتقليل فقد السيليكون أثناء المعالجة، مما يُحسّن بشكل كبير من استغلال السيليكون.

لوحة تلميع رقائق الألومنيوم عالية الجودةتُستخدم سيراميك الألومينا في صناعات أشباه الموصلات والبترول والكيماويات والخلايا الكهروضوئية والبلورات السائلة وغيرها، مثل الأجزاء الميكانيكية والإلكترونية، وأقراص الحث الميكروويفي، ومواد العزل، وأجهزة أشباه الموصلات، ومعدات التفريغ، ومعدات تصنيع البلورات السائلة. وتتمتع سيراميك الألومينا كبيرة الحجم وعالية النقاء بقيمة تطبيقية كبيرة في صناعة الياقوت وصناعة رقائق أشباه الموصلات، حيث تُعد دعامة أساسية ومادة استهلاكية في عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) لرقائق الياقوت والسيليكون. كما يمكن استخدامها كركيزة ألومينا لشاشات الكريستال السائل (LCD).